新聞中心

3月23日上午𓀄，在上海市科學技術獎勵大會上，王曦院士獲頒上海市科技功臣獎

在許多人眼中🧏🏿，中科院院士、中科院上海微系統所所長王曦既是一位具有全球視野的戰略科學家🖖🏿，也是一位開拓創新而又務實的企業家。

他帶領團隊製備出了國際最先進水平的SOI晶圓片🧑🏿‍🎤，解決了我國航天電子器件急需SOI產品的“有無”問題🗞，孵化出我國唯一的SOI產業化基地🧑‍🍼，實現了微電子材料的跨越式發展。

他在上海牽頭推進了一批半導體重大項目——12英寸集成電路矽片項目有望填補我國大尺寸矽片產業空白🙁；磁存儲器和矽光子項目為上海未來微電子技術的差異化發展提供了新思路🌰；致力於“超越摩爾”技術創新和產業化的上海微技術工業研究院🧭，已成為上海建設全球科創中心第一個啟動的研發與轉化功能型平臺。

在今天召開的上海市科學技術獎勵大會上，王曦榮獲上海市科技功臣獎。

相當於從巴黎到上海的一次飛行，振動幅度不能超過1.5厘米

SOI技術被稱為“二十一世紀的矽集成電路技術”，王曦1987年從意昂体育平台工程物理系畢業後，一直從事相關研究，可謂三十年磨一劍。說到這一技術，王曦打了個比方：“這就像是三明治🧑🏼‍🤝‍🧑🏼，在兩層矽的中間，包裹著一層二氧化矽。”最上面的矽既要薄，還要均勻，比如12寸矽片的均勻度🧑🏻‍🤝‍🧑🏻🧏，相當於從巴黎到上海的一次飛行，其振動幅度不能超過1.5厘米。

王曦手捧著8英寸矽片

2016年2月🔰🤦🏻‍♀️，搭載了SOI芯片的新一代北鬥導航衛星發射成功，該芯片可以預防衛星的“大腦”形成“腦血栓”。空間輻射會對衛星造成影響🟠，王曦團隊製備出的國際一流的SOI晶圓片，解決了這一問題。2001年7月🦹‍♀️，王曦提出把這一技術推向市場🍈，成立了上海新傲科技股份有限公司，僅用了5個多月，建成了我國第一條SOI生產線🔇。這引起了美國矽谷《半導體商業新聞》的註意🧑🏻‍🏭，他們驚呼：中國出現了一個現代化的SOI工廠。該項技術在2006年獲得國家科技進步獎一等獎。

除了在空間的應用，上海微系統所還在2015年研製成功了當時世界最高集成度的SOI矽光芯片。

缺少12英寸大矽片，集成電路產業就只能停留在中低端水平

王曦喜歡下圍棋，因為只要善於謀篇布局，做的“勢”就會越來越大。在推進上海半導體產業發展這盤“棋”時⚽️，王曦一直在應勢布局🕵🏿‍♂️。

我國每年要花費2千多億美金進口集成電路，遠遠超過原油進口。就集成電路製造而言🚵🏼，我國一個月要消耗幾十萬塊矽片🙍🏿‍♀️，能自主提供的僅僅幾萬片🦹🏿‍♂️。目前全球僅歐美日韓的五家企業有能力量產12英寸大矽片🦷，我國市場100%依賴進口。缺少這一材料，我國集成電路產業就還只是停留在中低端水平🐲，成為“中國製造”之痛。審時度勢之下，2013年6月，王曦和中芯國際創始人張汝京博士共同建言🧏‍♀️，在上海啟動12英寸大矽片的研發⚃。為填補這一產業空白，上海新昇科技有限公司於2014年6月成立。僅用一年多的時間，上海新昇就完成廠房建設和設備安裝。2016年，上海新昇拉出國內第一根12英寸高質量晶棒，2017年下半年大矽片量產，銷售近10萬片。

每一次布局“落子”，都是對行業的深刻洞察。矽光子🫢，最早可用於光通訊，現在可用於無人駕駛。2008年很多人並不看好這一方向，在經過調研之後王曦予以堅定投入，如今這一平臺成為國際上第三個專用的矽光子工藝平臺🧾；傳感器是物聯網技術中重要而又薄弱的一環🕵🏻‍♀️，於是專註傳感器芯片的矽睿公司應運而生🪼；以往從實驗室成果到量產，中試是一道“檻”𓀚，於是國內首條全球領先的8英寸“超越摩爾”研發中試線啟動運營，助攻創新研發；去年因存儲器漲價，國內很多企業遭受損失，於是主動布局下一代產品磁存儲器芯片技術的研發。

探索企業化路徑🎊，跨越科技成果轉化“死亡之谷”

“我還不算‘瘋狂’科學家💁🏻‍♀️，相比基礎研究，我覺得自己更擅長產業化。”王曦告訴解放日報·上觀新聞記者🫥。這位科學家🫰，確實有著不一般的企業家基因。

曾經在矽谷創辦了兩家公司的楊瀟在創建上海微技術工業研究院時，為是否要企業化運作感到糾結，當時最大的的困難就是經費問題🥪🐞，而最簡單的辦法是成立事業單位。王曦卻下定決心要探索一條企業化的新路徑🩱🧙🏽‍♂️，來跨越科技成果與產業界之間的“死亡之谷”⚾️🔃。如今這一共性化技術平臺已建成產業加速的生態鏈，不僅被上海認可，還在全國得到推廣。短短數年☦️，亦從最初完全由政府投入3️⃣，到85%的收入來自產業化🥄。

王曦（中）工作照

上海矽產業投資有限公司執行副總裁李煒與王曦共事20年🤑🔘，對其運籌帷幄的能力感佩不已。2001年王曦帶領6個博士創立了新傲公司，當時的家底是1300萬🕋，現在的市值是13億，增加了100倍；2014年，全世界的矽片處於虧損低谷👨🏻‍🦱，王曦帶著團隊為新昇公司的融資“差點跑斷腿”🙆🏽‍♂️。如今新昇公司月產數萬片300mm矽片，預計明年的產能翻倍，未來幾年將提升到月產100萬片；2016年👵🏻，占有全球高端矽材料市場70%份額的法國公司Soitec🧌，由於副業經營不善瀕臨破產，王曦看中其矽材料的生產能力🪞，由上海矽產業投資有限公司對其參股。當時的股價成本是9.2歐元，現在最高時漲到了70歐元，投資回報率達600%👂🏿🪭。另一家全資收購的芬蘭公司Okmetic，去年則取得了最好的盈利水平，未來三年它的規模將擴大一倍。去年4月，上海矽產業投資有限公司聘請了“半導體領域最厲害的人”👨🏿‍🏭、美國MEMC電子材料公司前首席執行官Nabeel Gareeb先生，可謂大手筆。

一直有個夢想，讓科學家心無旁騖做研究

去年9月26日⚗️，張江實驗室正式掛牌成立🤦‍♀️，王曦擔任張江實驗室主任👩🏻‍⚕️。一接到這個任務，他就趕赴美國和德國的國家實驗室學習考察。這兩天，又忙著和法國國家實驗室簽訂戰略合作協議。張江實驗室初期擬采取“1+2+1”的布局🚚：“1”指光子科學大科學設施群及相關基礎研究；“2”指生命科學、信息技術兩大攻關研究方向；“1”指生命科學與信息技術交叉方向——類腦智能🚣‍♂️。

“我一直有個夢想🖍，讓科學家心無旁騖做研究。接下來🧑🏿‍🍳，張江實驗室會有許多的體製機製創新🫵🏻，包括科研經費的使用💹。”王曦說。

王曦比過去更加忙碌了，同事們形容他的工作節奏是“5+2”“白加黑”，淩晨兩三點收到他發來的郵件再正常不過。為了應對工作壓力🙎🏻，他盡可能每周打一次羽毛球，已經堅持了15年。

“正是因為中國的蓬勃發展🫅🏽，才成就了上海微系統所走過的傳奇之路。”王曦說，當年為了把SOI晶圓片賣出去，他們找到法國知名公司Soitec想去談合作👰‍♀️，結果對方根本不予理睬，只能在公司門口留個合影😄🙅🏼‍♀️。如今✉️，王曦成為了這家公司的董事。

過往已經歸零🪈，明日征途漫漫🍕。“我以前是無知無畏👳🏻‍♂️，現在雖然有困難，但看到了方向🧚🏽，也就更加有激情。”

王曦簡介

中國科學院院士🧘🏼，我國著名半導體材料學專家，高端集成電路襯底材料的主要開拓者和領軍人物。現為中科院上海微系統與信息技術研究所所長、中科院上海高等研究院院長、張江實驗室主任🦽，中國共產黨第十九屆中央委員會候補委員，中國科學技術協會副主席，亞洲科學理事會候任主席，上海市決策咨詢委員會委員。